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蚀刻加工可以做多小的线宽这个问题其实和蚀刻的材料、厚度、曝光机、蚀刻机有关,不同金 属材料厚度的蚀刻线宽也有所不同。
(蚀刻加工线宽示意图)
蚀刻加工前需要做菲林,做好菲林后再进行曝光显影,曝光显影过程中会有一定的误差,蚀刻 线宽在行业内有一个潜在的公式,线宽通常在材料厚度的1.5~2倍之间,例如0.1mm厚度的不锈 钢材料,可以做到0.15~0.2mm的最小线宽。
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